离子注入机

本项目定制的离子注入机，其主要注入离子类型及常规参数如下： H+ 25µA@40keV He+ 15µA@40keV O+ 10µA@100keV O+ 50µA@400keV Si+ 30µA@400keV Ne+ 100µA@400keV Co+ 50µA@400keV Ar+ 20µA@10keV Ar+ 100µA@400keV

离子种类多：H+,He+,Ar+,Fe+等； 离子能量可调（单价态）：30-400 keV； 离子注量率大：～1013 ion/cm2； 样品台温度精确可控：25-500 °C; 辐照面积：～10 cm2。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。