电子束蒸发台
- 规格型号：BJD/FC2000
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： BJD/FC2000
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1, 2, 3, 4英寸样品台, 可加热至250℃, 并带旋转功能: 20—80rpm 4, 样品沉积前预清洗带直流偏压 5, 带有LOAD-LOCK系统, 配带70L/s分子涡沦泵和干泵 6, 带有膜厚监测系统 7, 六源电子束蒸发源,具有共蒸发功能
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金，铂等高熔点的金属薄膜沉积
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先进制造
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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张维
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18030283160
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zhangwei@xmu.edu.cn
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化学楼220室
