原子层沉积系统
- 规格型号：PICOSVN R-200
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： PICOSVN R-200
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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双腔室热壁反应器 专门的纳米粒子或粉末反应器 AC-2025 臭氧发生器 (10%) 六个前驱体源和四个独立进气口 最高沉积温度为 500摄氏度 配四级杆质谱
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该系统主要应用于在纳米粒子或硅等固相基底表面原子层沉积金属氧化物。沉积的材料包括但不限于Al2O3, TiO2, SiO2
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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张维
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18030283160
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zhangwei@xmu.edu.cn
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化学楼219室
