纳米通用形发生器
- 规格型号：DY-2000d
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： DY-2000d
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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S工件台移动范围: 50mm×50mm；曝光面积: 20mm×20mm；图形发生器控制速度: 10MHz；定位精度:100 nm；拼接精度:150 nm；工件台最大移动速度: 25mm/s；最小线宽: ≤50nm（LaB6）；≤70nm（W）
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该设备使用扫描电镜发出的电子束，结合图形发生器和束闸在敏感光胶上直接曝光，形成电子束光刻图案。
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先进制造
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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张维
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18030283160
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zhangwei@xmu.edu.cn
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化学楼223室
