热蒸发镀膜装置

1. 沉积室极限真空度：≤2.0x10-5Pa(经烘烤除气后)； 2. 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 3. 系统从大气开始抽气： 30分钟可达到6.6x10-4 Pa； 4. 系统停泵关机12小时后真空度：≤10Pa； 5. 基片台加热温度：室温到300度。

可用于金属表面防护膜和功能膜的制备，可镀有机膜

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。