椭偏仪

1、光谱范围：245-1690nm 2、变角方式：计算机控制自动变角，变角范围：45-90º 3、补偿方式：旋转补偿 4、测量速度：全光谱（测试点大于650个）最快20HZ，典型全光谱1-3秒 5、测量正确度： 95%以上的被测点满足 Δ≤0°±0.05° Ψ≤45°±0.075° （直射测量，即测空气）； 6、膜厚测量重复性：0.003nm (30次2nm SiO2膜厚测量的标准偏差)

用于薄膜厚度及光学常数的测量分析，椭偏仪的高级应用是对材料微结构、微变化的研究。具有超高的灵敏度，它能测量低达百分之一纳米（10-10米）的变化。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。