离子减薄仪

1.离子枪：潘宁式离子枪，装载微小磁铁，聚焦离子束设计，无耗件。 2.减薄角度：+10°到-10°，每只离子枪可独立调节。 3.样品台旋转：样品台可以旋转，转速1~6 rpm可调。 4.离子枪束能量：0.1keV~8keV。可在不同电压下自动优化离子束束流。 5.离子束调制：可以进行角度选择性区域离子减薄减薄 6.样品更换：快速样品更换时间

载台可以实现X和Y方向的移动，移动范围：+/- 0.5mm，方便截面样的制备。 带有液氮冷台，以及控温系统，一次加注液氮续航能力6-8小时。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。