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扫描探针显微镜

扫描探针显微镜

规格型号:SPA-400
运行状态: 启用
仪器类型: SPA-400
仪器认证: 已进行计量认证
参考收费标准: 按相关收费标准执行
服务信息
分辨能力:面内0.2nm, 垂直0.01nm ; 扫描范围:标准扫描器最大可扫描面积 20μm*20um,垂直方向行程±1um ; 样品尺寸:直径不超过35mm,高度不超过10mm;
主要用于半导体材料样品表面形貌观测及粗糙度分析。
新材料
客户提前10天申请,商榷检定日期,检定人员到现场检定,待检定合格后方可使用。
联系方式
林鼎渠A
13606949732
lindq@xmu.edu.cn
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