探针式轮廓仪

1、最大扫描长度：50mm； 2、最大样品厚度：50mm； 3、垂直方向的扫描范围：1000um； 4、高度测试重复性：4A； 5、垂直分辨率：不低于0.1nm； 6、样品台：直径8英寸，可360°自动旋转； 7、XY移动载物台：X150mm行程，Y150mm行程，可视化操作； 8、探针压力：1-15mg范围内能以1mg步进调整，精确控制探针压力； 9、具有3D扫描功能，在3D扫描过程中实时显示扫描结果。

1、光学系统：侧视光学系统，彩色CCD，视场范围1~4mm可调； 2、采用LVDT或LVCT探针传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性；3、单次扫描最大采样点数不少于120000； 4、仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响； 5、配备专用探针更换工具，保障换针的便捷与安全。 应用领域：应用于半导体、微电子、光电子、触摸屏、太阳能、材料科学、金属等领域，实现纳米级的表面形貌（主要为厚度）测量。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。