光刻机
- 规格型号：OAI MOde1 204
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： OAI MOde1 204
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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掩模版适用尺寸：五英寸； 基片尺寸：4英寸及以下不规则形状基片； 汞灯功率：350W； 分辨率：2μm。 应用领域:单面对准曝光。
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具有可靠的OAI紫外光源，其在近紫外或深紫外中提供准直的紫外光，双传感器，光学反馈回路连接到恒定强度控制器，以提供在所需强度的±2％内的曝光强度的控制。
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电子信息
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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张艳
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15359240780
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zhangyan2003@xmu.edu.cn
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洁净室Room3
