光刻键合机
- 规格型号：MA6BA6
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： MA6BA6
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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紫外光波长：350nm～450nm 光强均匀性：2% 分辨率: 0.8μm 正面套准精度：2μm 背面套准精度：3μm 基片尺寸：支持4英寸以下3、2、1以及不规则基片
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微纳器件加工中曝光微米级结构图型 双面对准
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电子信息
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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张艳
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15359240780
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zhangyan2003@xmu.edu.cn
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洁净室Room3
