形状测量激光显微镜

1.综合倍率：28800倍以下 2.视野（最小视野范围）：11μm~7398μm 3.Z轴显示分辨率：0.5nm 4.XY轴显示分辨率：1nm 5.XY载物台电动运行范围：100mm*100mm 6.光源波长：紫色半导体激光404nm

1 测量任意直线上的轮廓 （截面）。 2 测量抗蚀薄膜或涂膜等透明物的表面轮廓。 3 沿着随意选择的直线测量如抗蚀薄膜或涂膜等透明物的轮廓 （横截面）。 4 色彩鲜明地观察缺乏颜色变化的样品。 5 在非常不平整的样品上整体对焦。 6 测量大小和长度 7 获取大范围的高分辨率图像

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。