三离子束切割机

1. 离子束电压：1 keV~10 keV； 2. 离子束电流：0.5~4.5mA； 3. 离子束密度：10 mA/cm2； 4. 切割速率(边缘50μm处): 5μm/ min (100% Si，10 keV，3.5 mA)； 5. 离子束半高宽：0.8 mm (10 keV)，2.5 mm (2 keV)； 6. 无油真空，真空度＜1x10-5 mbar； 7. 冷冻台温度设定范围：+30℃~ -180℃； 8. 样品处理过程可通过体视镜实时监控；

1. 配有冷冻样品台和液氮冷却系统，最低可在-180℃的条件下对生物材料、高分子薄膜材料进行截面切割； 2. 配有旋转样品台，表面抛光最大区域直径可达25mm并可在0°~48°内调节离子抛光角度；

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。