磁控溅射仪

1. 极限真空度：≤8×10-5Pa (经烘烤除气后，连续抽气24小时) 2. 抽速：系统短时暴露大气，从大气抽至6.7*10-4Pa时间≤40分钟。 3. 漏率：优于5*10-7Pa˙L/s 4. 磁控溅射靶：直径60mm 3个，其中强磁靶1个。 5. 基片尺寸和数量： 直径4英寸样品,一次可放置多片 6. 样品加热温度：不低于300°C，连续可调 7. 配有偏压电源，并支持样品的偏压清洗与辅助沉积 。

可三靶一起溅射

先进制造

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。