聚焦离子束多尺度协同纳米加工系统
FIB
- 规格型号：orion nanofab
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： orion nanofab
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1.He 离子精修：3~10 nm 2.Ne 离子大面积精修：10~50 nm 3.Ga 离子大面积加工：30 nm 4.He Ion Microscope：~0.5 nm 5.加速电压10~30 kV 6.束流0.1~ 100 pA
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1.兼具亚5nm结构精修和大面积切削加工（He、Ne、Ga三束系统）； 2.在加工的同时对材料，特别是非导电和磁性样品进行原位成像观察，分辨率可达0.5 nm；
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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黄声超
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15005936626
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huangshengchao@xmu.edu.cn
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能源材料大楼1号楼负1楼FIB实验室
