半导体器件测试探针台

1.温度范围：10K-350K； 2.控温稳定性：优于±100mk； 3.光分辨率：优于4μm； 4.探针臂的可三维移动 X方向不小于51mm Y方向不小于25mm Z方向不小于18mm 5.漏电流：

半导体器件测试探针台可以进行基础的电学测试，测试场效应晶体管的饱和漏电流、夹断电压、开启电压、低频跨导等场效应管的重要参数；该设备还可以完成光电探测器方面的测试，特定的探针臂带有可调波长及可调光功率的光纤，可以测试样品在不同光功率下的转移曲线和传输曲线；该设备同时可以进行在低温及高温的变化温度下对样品的分析测试，低温下测试的样品可以减小热扰动对于测试结果带来的不准确性。

先进制造

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。