精密砂轮划片机

1、最大适用于8英寸及以下晶圆； 2、切割晶圆厚度范围≤4mm； 3、主轴转速范围10000~50000rpm； 4、X轴：工作行程380mm，X轴速度设定范围0.1~500mm/s； 5、Y轴：有限切割行程210mm，Y轴单步定位精度≤3μm/5mm； 6、Z轴：主轴上下行程Max30mm，重复定位精度1μm； 7、θ轴：正反转范围380°，转角分辨率0.0002°；

该设备硅片、蓝玻璃、砷化镓、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、石英、玻璃、陶瓷及太阳能电池片等材料的切割加工

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。