台阶膜厚仪

(1)垂直方向分辨率： 可达 1A ( 在 6.55pm 量程范围内）|， 2 μm 钻石材质半径探针，无防震台验收。 (2)垂直方向扫描范围： 1mm。 包含有 4 个量程， 分别为 6.55μm、 65.5μm、 524μm 、1000μm。 可根据不同测量范围一键切换不同量程， 无需更换扫描头， 使用更方便， 测量更精准， 误差更小。 (3)水平方向单次扫描长度范围：55mm (4)探针台阶高度重复性 :≤4A (5)可放置最大样品厚度:50mm

(1)釆用成熟的 LVDT 电感式传感器原理， 保证 Z 轴方向高分辨率测量， 兼顾 使用精度和可靠性。 (2)自动样品台， 自动定位、 自动测量。 (3)可做表面轮廓三维形貌测量， 配备相应的数据分析软件， 具备数据存储、处理、 输出功能。 (4)具备薄膜应力测试功能。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。