场发射扫描电子显微镜
Electron beam lithography
- 规格型号：Sigma 300
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： Sigma 300
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1、分辨率：二次电子成像，1nm@15kV/1.6nm@1kV; 2、光刻精度小于100nm
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加工表征微纳尺寸结构
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电子信息
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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王雅思
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15581630680
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yswang@xmu.edu.cn
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能源材料大楼1号楼1139实验室4
