台阶仪

1、Z轴垂直测量范围：600um 2、台阶高度重现性：1σ= 1nm (1um以下台阶，重现性保证1σ≤0.2nm以下)； 3、垂直分辨率：0.1nm； 4、水平方向单次扫描长度范围：50mm； 5、样品台行程：100mm×100mm； 6、样品厚度最高可达50mm；

ET-150的台阶高度重复性很高，为≤0.2nm（1微米的标准台阶）

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。