原子力显微镜

检测系统： 光杠杆式/低相干半导体激光； 闭环噪声： XY轴 150pm， Z轴 30pm； 扫描范围： 100 um x 100um x 15 µm； 样品尺寸： 140mm[直径] x 18mm[高]（Max）； 光学放大： 12x manual zoom 减震措施： 高性能主动式减震系统。

仪器具备大范围高分辨低噪声扫描和快速信号处理能力，能实现各种扫描模式和功能应用，独特的QI测量模式操作简便，是高分辨定量成像和力学测量理想工具，丰富的模块化软硬件设计扩展，适用于材料与器件表面特性的分析测试。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。