真空镀膜仪
- 规格型号：Covap
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： Covap
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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极限真空5×10E-7Torr，样品台直径100mm, 4个蒸发源
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用于半导体器件金属电极薄膜的真空蒸镀
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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王静娟
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13950134146
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wangjj@xmu.edu.cn
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能源材料大楼4445
