高真空蒸发镀膜设备
- 规格型号：VZZ-400
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： VZZ-400
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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真空系统检测范围：1×105Pa~1×10-5Pa；蒸发源：四组蒸发源；真空极限：≤5.0×10-5Pa；抽速：抽至10-4Pa≤20min；基片台转速：0-25rmp可调；膜厚控制：晶振膜厚仪在线监测；
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制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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陈国荣
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18850511547
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grchen@xmu.edu.cn
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科学楼131
