激光共聚焦显微镜

主机：Axio Imager.Z2m ； Z 轴驱动器：最小步进10 nm ； 电动扫描台：行程 130 mm × 85 mm ； 物镜：5X，10X，20X，50X，100X ； 观察方式：明场、高级暗场、偏光、微分干涉、荧光 ； 相机：彩色 500 W像素 ； 激光器：405 nm半导体激光器。

本仪器针对材料表面进行粗糙度分析、体积测量和3D形貌观察；微米和亚微米级部件的尺寸及表面形貌观测；半导体材料和芯片的表面形貌、截面轮廓、非接触型的线宽和台阶深度等测量分析，适用于材料科学、半导体、石油地质和生物食品等亚微结构的观察和分析。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。