热蒸发镀膜设备

1.真空室：L400mm×W400mm×H450mm；方形腔体，前移门，后开门结构； 2.基片台：可旋转、加热、升降，最大样品尺寸：150×150mm； 3.金属蒸发源：2组，铜电极带水冷，金属蒸发电源1台； 4.有机蒸发源：束源炉2组，PID控温，最高温度600度，蒸发电源2台； 5.膜厚控制仪：采用inficon-SQM310C带三个探头； 6.真空系统：采用KYKY-1200L/S分子泵、12L/S机械泵、复合真空计等； 7.电气控制：采用PLC和触摸屏操作方式，控制真空系统和工艺参数设置； 8.手套箱：采用北京伊特克斯1800mm双工位一台； 9.冷水机和空压机各一台。

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电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。