SUSS光刻机

1、适用于最大8英寸晶圆、并向下兼容6英寸、4英寸； 2、LED光源，包括 UV400 波段，含 I（365nm）G（405nm）H（436nm）三个波长，光强≥35mw/cm2@365nm（8英寸范围内）；光强均匀性≤±2.5% （8英寸范围@365nm） 3、套刻精度：正面套刻精度≤±0.5um；背面套刻精度≤±1um 4、紫外曝光分辨率(150mm 样品，胶厚1 um)：真空接触≤1.0um；硬接触≤1.5um；软接触≤2.5um；接近式≤3.0um； 5、支持恒定功率、恒定剂量曝光。

6英寸、8英寸真空夹具支持防翘曲功能，具备红外对准功能。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。