2 inch晶圆专用精密电镀实验装置

2inch 精密溢流镀槽（亚克力双重加厚底） 内寸：100*100*100(H)mm 容量：约1.5L/耐热温度：65℃ 2inch晶圆专用阴极盒/耐热温度：65℃ 2英寸晶圆专用厚度调节垫片 2inch晶圆专用阳极盒 16*16mm（电镀有效范围10*10mm） 晶圆切片阴极盒/耐热温度：65℃ 16*16mm 晶圆切片厚度调节垫片 16*16mm 晶圆切片阳极盒 2inch晶圆专用阳极（含磷铜板）（附阳极袋） 2inch晶圆专用电力线均匀搅拌仪（转速显示型）需变压器 1000W数码式温控仪 输入电压：100V 温控探头用不锈钢G型夹具（12㎜×12 φ7） 晶圆用加热管（电压100V，功率100W）需变压器 加温管用不锈钢G型夹具（12㎜×12 φ10） 微型精密过滤机20APFA型（附1μｍ滤芯） 最大流量：4.8L/min输入电压：100V/功率：50W需变压器 专用气泵（AC100V）出气量：约6.4L/ min输入电压：100V/功率：3.8W需变压器 空气滤膜 最高使用压力：0.8Mpa/过滤精度：0.01μｍ 最大过滤空气量：50-70L/ min 超精密电镀电源(1mV/10μA)（0-3A） 温控功能/PH值监控（PH仪另购）/可编程波形/时间电流累计/实验数据电脑集成 尺寸：221(L)*260(w)*396(H)mm 输出电压/输出电流：0-15V/0-3A 最小分辩率：1mV/10μA 对应OS：Windows8,10 输入电压:AC100V 重量：10.4kg需要变压器 2000W国产变压器 输入电压：220V/输出电压：100V

2 inch晶圆专用精密电镀

先进制造

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。