X射线光电子能谱仪

Al单色XPS指标（Ag 3d5/2峰半高全宽@强度，测试功率最高不超过300W） a.大束斑（300*700μm）能量分辨率和灵敏度：0.45eV@160kcps、0.6eV@2.5Mcps； b.中束斑（Φ110μm）能量分辨率和灵敏度： 0.5eV@200kcps、 0.6eV@600kcps； c.最小束斑（Φ15μm）能量分辨率和灵敏度：0.5eV@15kcps、 0.6eV@25kcps； 绝缘体中和效果，能量分辨率和灵敏度优于（PET，O-C=O的C 1s峰半高宽@C-C/C-H的C 1s峰强度，测试功率最高不超过300W）： a. 大束斑（300*700200μm）： 0.68eV@20kcps、 0.77eV@70kcps； b. 中束斑（Φ110μm）：0.68eV@3kcps；

AXIS SUPRA+ X射线光电子能谱仪器可实现固体材料的表面几个原子层（1-10纳米厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像等综合分析与表征技术的研究，主要关注大束斑能量分辨率和灵敏度指标，同时兼顾小束斑能量分辨率和灵敏度指标。 主机含分析室、样品制备室，各室配备独立的真空抽气系统；分析腔室能够维持超高真空环境，并预留有与样品台对准的扩展接口，样品制备腔室和其他激发源等实现多种技术联用；整套系统具备单色化XPS、小面积XPS、深度剖面XPS分析(单氩及团簇氩离子枪GCIB)、角分辨XPS、成像XPS、UPS（紫外光电子能谱）等功能及气氛敏感样品传递装置。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。