高低温真空探针台

8英寸的真空腔体，带4英寸高红外透射率观察窗；直径为4英寸的样品台,,平整度5微米，平台可在X、Y方向电动移动，单方向行程范围大于100mm；六个探针臂接口，可以安装六个探针臂；系统极限真空优于1*10-4Pa；温控范围：-190℃-600℃(液氮)，-268-600℃(液氦)；PID温度控制器分辨率:0.001℃

​高、低温，真空，探针台

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。