超高精密微立体光刻加工系统

采用面投影微立体光刻技术，实现超高精度微尺度加工，采用从上往下投影的方式用405 nm UV-LED 光将超精细图案投影到液态树脂表面使其固化，逐层累加从而完成产品的制作，整个过程无需借助其他模具（如掩模）一体化成型；2、光学精度≤2μm；3、最小加工层厚≤5μm；4、最大加工样品尺寸≥50mm×50mm，成型高度≥50mm；5、二维加工最小线宽≤3μm；6、三维加工最小特征尺寸≤10μm；7、最小圆锥尖端≤6μm，最小孔径≤10μm，最小弹簧结构线径≤30μm；8、标准材料拼接误差≤5μm；9、加工材料：405nm 固化波段的通用型光敏树脂。光敏树脂的成型精度不低于3μm，可支持耐高温树脂(可耐140℃标以上@0.45MPa)、耐候性工程树脂和生物兼容树脂等；

该设备具有加工效率高、加工材料范围广、无需掩模或模具、一体成型、跨尺度加工、加工成本低、工艺简单等特点。通过采购该设备可以提升超高精密复杂三维结构跨尺度产品的快速加工能力，从而可以和需要跨尺度加工的研究方向做创新结合，不在受制于传统加工方式的局限性，可以广泛应用于微流控芯片、新能源电池、微反应器、微纳机器人、柔性可穿戴器件、超材料、微针给药等前沿科研方向的研究，实现交叉和跨学科的结合和探索。

先进制造

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。