全固态薄膜锂离子电池原位制备、表征与测试系统

热蒸发系统的极限真空度小于8×10^-5 Pa，分子泵流速大于1200L/s，包含有机蒸发源和金属蒸发源，配一两套进口电源，配备3条气路；磁控溅射系统的极限真空度小于8×10^-5 Pa，分子泵流速大于1200L/s，包含三四个永磁靶，配两套进口射频电源、一两套进口直流电源，配备3条气路；手套箱为三四工位，水氧指标均小于0.1ppm；同批次镀膜厚度均匀性≤3%。

材料物理与化学领域的薄膜材料与器件制备、表征与测试，尤其是用于全固态薄膜锂离子电池原位制备、表征与测试。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。