高分辨冷场发射扫描电子显微镜

电子枪：冷场发射电子枪，电子源大小≤5nm，能量范围≤0.3eV，亮度≥108A/cm2/Sr，适合超高分辨观察；分辨率： ≤0.6nm @15kV(工作距离4mm)，≤0.7nm @1KV（工作距离1.5mm）； 加速电压（着陆电压）：0.01～30kV； 最高分辨率≥10240×7680像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息；

冷场电子枪，柔性flashing技术，半内透镜物镜，ExB技术，实现低电压高分辨成像，更有利于高分辨。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。