公斤级粉体原子层沉积（ALD）
- 规格型号：GM1000
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： GM1000
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1、不锈钢304真空反应腔体，全对称加热器，最高温度300°C，温度均一性＜3%； 2、100Torr/1000torr薄膜规各一套，实时监控工艺真空度，极限压力
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该设备粉体表面处理的批次处理量可达到百克级
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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张忠如
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15160016780
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zrzhang@xmu.edu.cn
