聚焦离子束扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）的电子束加速电压0.02-30 kV，束流强度在5 pA – 20 nA范围连续可调，二次电子分辨率最优达到0.9 nm@15 kV；聚焦离子束（FIB）的加速电压500 V-30 kV，离子束流强度范围1 pA – 100 nA，离子束最优分辨率达到3 nm@30 kV。

该设备集形貌观察、定位制样、成分分析、薄膜沉积、三维重构、半导体失效分析和线路修补以及透射电镜样品制备各种功能于一体。该设备上特别配置了飞行时间-二次离子质谱仪器(TOF-SIMS)，可用于H, He, Li 等的轻元素检测，其检出限可达 ppm 级别。尤其配置了冷冻样品台、冷冻纳米机械手以及冷冻传输系统，可以在-160°环境下对各类样品进行冷冻透射电镜（TEM）制样，避免加工过程中热效应以及非晶损伤对样品结构的损坏。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。