全自动激光划片切割机

激光器功率≥3 W@100 kHz（出光口处）； 重复频率50/100 KHz； 激光器寿命及光衰 8000 小时； 可兼容切割晶圆尺寸 2/4/6 英寸； X 轴行程 400 mm；X轴最大速度 1000 mm/s；Y 轴行程 600mm；Y 轴最大速度 250mm/s；W 升降轴行程 10mm；Z 轴旋转角度 120° 11 X 、Y、W 轴直线度 ±1μｍ；X 、Y、W 轴重复定位精度 ±1 μｍ；Z 轴重复定位精度 ±3 弧度秒； CCD 辨视功能 软件自动进行角度、水平校正； 主流片厚 60um≤片厚≤150um； 划片外观良率 ≥99.5%； 划片 IR 电性良率 划前/划后损失≤2%； 平均修复时间 ≤12 Hour/单次

主要应用于蓝宝石材料隐切

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。