高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统
- 规格型号：PLD450
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： PLD450
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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沉积室极限真空≤10-5Pa； 系统停泵关机12小时后真空度≤10Pa； 真空腔大气状态抽气20分钟可达10-4Pa;
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超高真空下进行脉冲激光沉积 可控氧分压 基底、靶材可旋转 基底可升温至800℃
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先进制造
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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陈滢
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18310533533
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chenying@xmu.edu.cn
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