复合薄膜溅射沉积系统
- 规格型号：TRP-450
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： TRP-450
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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本底真空1E-4Pa，三靶溅射，射频/直流，4英寸样品，可加热到600摄氏度
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多靶共溅
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电子信息
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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黄巍A
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15259208367
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weihuang@xmu.edu.cn
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