飞秒激光微纳加工平台

激光器波长:1035±5nm； 平均输出功率≥40W； 脉冲宽度:<300fs 至 10ps 可调； 重复频率 1Hz-5MHz 可调； 单脉冲能量:≥70uJ@1035nm； 光束质量M2<1.3 ； 功率稳定性 :<0.5%RMS@1030nm/ ＜2%RMS@343nm； 输出脉冲稳定性＜1%RMS； 光斑直径≤20μm。 激光器具备倍频功能，倍频后波长：343nm； 倍频后平均输出功率：≥6W； 倍频后单脉冲能量>8μJ@343nm； 倍频后光斑直径：≤5μm。 XYZ 轴位移平台定位精度优于±1.5 μm，重复定位精度优于±1μm ， 其 中 XY 轴平台位移行程大于400mm，XY 轴平台最大速度大于 500mm/s，Z 轴位移行程大于 200mm，Z 轴平台最大速度大于 100mm/s。

本飞秒激光微纳加工平台具备双波长激光加工功能，其中1035nm 波段激光搭配模拟振镜实现高速飞秒直写，搭配旁轴 CCD 实现监控与定位；而343nm 波段激光搭配物镜实现高精度聚焦，结合高精度位移平台、同轴 CCD 实现图形的高精度加工与精准定位。

先进制造

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。