晶圆级化学镍钯金中试线
- 规格型号：KSK-ENE PIG-300-230303
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： KSK-ENE PIG-300-230303
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1. 片内均匀性：Ni<10%,Pd<15%,Au<15% 2. 厚度：Ni: 3-10um，Pd: 0.1-1um，Au:0.02-0.6um 3. Ni nodule<2%，Missing plating<2%，Metalover plating<2%；
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用于12寸晶圆（兼容8寸&6寸）化学镀镍钯金工艺。（可在同一条线上满足，铜基与铝基两种底材晶圆的化学镀）。
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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金帅
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18013519130
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jinshuai0821@xmu.edu.cn
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