场发射扫描电镜

1 仪器参数 1.1分辨率：0.9nm@15kV， 1.3nm@1kV； 1.2加速电压：20V～30kV； 1.3放大倍数：10~1,000,000X； 1.4样品台马达移动范围：125mm（X方向），125mm（Y方向），50mm（Z方向），-10～90°（倾斜），360°（旋转）； 1.5最大样品尺寸：直径235mm（XY平面内可全部观察到）。 2 其他附件配置 牛津能谱仪（EDS) ; 样品真空转移盒(配抽真空及配充放电功能）

1， 高分辨率：0.9nm@15kV， 1.3nm@1kV； 2. 配能谱仪，可进行元素分析 3. 配样品真空转移盒，适用于需隔绝空气样品。

新能源

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。