半导体分析仪

可扩展的最大电压及电流：10 KV/ 1500 A 可扩展的最大模块数量：10 系统中配置的中功率源模块MPSMU测量分辨率：0.5 μV, 10 fA 系统中配置的中功率源模块MPSMU的电压电流范围：-100 V to 100 V, -100 mA to 100 Ma 系统中配置的中功率源模块MPSMU在@100 mA@±0.5 V：Force accuracy± (% + mV)@±(0.018 + 0.15)；Measure accuracy± (% + mV) @±(0.01 + 0.12) 系统中配置的中功率源模块MPSMU在@±1 nA@100 V：Force accuracy ± (% + A + A)@ ±(0.1 + 3E-13 + Vo x 1E-15)；Measure accuracy ±(% + A + A)@ ±(0.1 + 2E-13 + Vo x 1E-15) 系统中配置的高电流源模块HCSMU测量分辨率：200 nV, 10 pA 系统中配置的高电流源模块HCSMU的电压电流范围：-40 V to 40 V, -1 A to 1 A -20 V to 20 V, -20 A to 20 A (Pulse only) 系统中配置的高电流源模块HCSMU@±0.2 V@20 A：Force accuracy ± (% + mV + mV)@ ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05)；Measure accuracy (% +mV + mV)@±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) 系统中配置的高电流源模块HCSMU@40 V@±10 μA：Force accuracy (% + A + A)@ ±(0.06 + 2E-9 + Vo x 1E-10)；Measure accuracy (% +A+ A)@±(0.06 + 2E-9 + Vo x 1E-10) 系统中配置的高电压源模块HVSMU的电压电流范围：-3000 V to 3000 V, -4 mA to 4 mA -1500 V to 1500 V, -8 mA to 8 mA 系统中配置的高电压源模块HVSMU测量分辨率：200 μV, 10 fA

功率半导体器件的电学特性表征

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。