高功率飞秒激光加工系统

一、激光加工实验平台： 1、大理石平台，安装安全防护罩，全封闭式光路系统，防止灰尘污染； 2、搭配XYZ三轴直线运动模组； 3、提供CCD视觉定位系统，分辨率不小于1280 * 1024，深景镜头； 4、提供控制用工业计算机、显示器、键盘鼠标，平台运动控制卡，振镜运动控制卡，以及激光切割软件，激光打标软件，激光器冷却系统； 5、配备除尘装置和水冷系统。 二、高功率飞秒激光器： 1、支持1035/517 ± 5 nm双波段切换输出； 2、1035 ± 5 nm波段功率 >60 W，最大单脉冲能量 >400 μJ； 3、517 ± 5 nm波段功率 >15 W，最大单脉冲能量 >100 μJ； 4、重复频率1-150kHz可调； 5、可通过burst模式调节脉冲宽度 300 fs-10 ps； 6、功率稳定性（RMS）< 2 %； 7、光束质量 TEM00(M2 ≤ 1.3)； 8、输出光斑圆度 ≥ 85 %，直径2.5±1mm； 9、光束发散角 <1 mrad。 高功率飞秒激光加工系统需支持高数值孔径物镜加工与扫描振镜加工两种模式： 三、固定光路： 1、提供双波段(1035nm 及 517 nm)聚焦光束系统； 2、三轴（X、Y、Z轴）定位精度 ≤ ±3 μm，重复精度 ≤ 1 μm，负载能力 > 10 kg；X、Y轴行程 > 400 mm，移动速度 > 100 mm/s；Z轴行程 > 100 mm，移动速度 > 50 mm/s； 3、聚焦光斑直径 ≤15 μm； 四、扫描振镜 1、提供双波段 (1035 nm及 517 nm) 扫描振镜； 2、单次扫描范围 50 mm × 50 mm； 3、加工速度 0.1-5000 mm/s； 4、聚焦光斑直径 ≤ 20 μm； 5、扫描精度 ≤ 0.3 μm。

具有1035/517 nm双波段输出；重复频率1 - 150 kHz可调；脉宽300 fs - 10 ps可调；激光聚焦光斑小于15 um；加工速度0.1 - 5000 mm/s；扫描精度小于0.3 um；1035 nm波段配备同轴视觉系统。

先进制造

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。