金属刻蚀机
- 规格型号：GMCS-12XD-S01
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： GMCS-12XD-S01
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1. 铜蚀刻均匀性≤8% 2. 钛蚀刻均匀性≤8% 3. 铜/钛侧边单边蚀刻<1.2um/side
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兼容8/12寸晶圆工艺可用于 RDL，TSV和 TGV 等孔金属化，bump 等工艺中去除或减薄金属及电镀去胶后将铜层和钛层去除
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先进制造
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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颜建强
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18965805239
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yanjianqiang@xmu.edu.cn
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