槽式去胶机
- 规格型号：GMCS-12XD-Q01
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： GMCS-12XD-Q01
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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1. 均匀性：无 PR残留 2. 去胶速率：30min（15um） 3. 温度范围：30-80℃
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通过湿法的方式去除光刻胶，兼容8/12寸晶圆工艺可用于RDL，TSV和TGV等孔金属化，bump等工艺中去除光刻胶。
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先进制造
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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颜建强
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18965805239
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yanjianqiang@xmu.edu.cn
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