离子束刻蚀系统

1. 适用于最大 Φ100mm（4 英寸）样品刻蚀，尺寸向下兼容； 2. Φ100mm（4 英寸）范围内刻蚀不均匀性误差≤±3%； 3. 离 子能量：100～1000 eV； 4. 离子束流：可调范围 10～150 mA；5. 离子源连续工作 100 小时以上，离子束输出性能无明显衰 减； 6. 极限真空度：≤6.67×10-5 Pa； 7. 系统从大气（暴 露大气时充干燥氮气）开始抽气，30 分钟内可达到真空度 5×10-4 Pa； 8. 批次内离子束流和离子能量稳定度 RMS 测试值 不超过±2%/h，不同批次间工艺重复性 95%以上。

适合用于自旋电子器件工艺流程中涉及金属材料的刻蚀。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。