推拉力机

1. 主要技术指标及功能 1.1.主要技术指标 ★1.1.1 固定工作台，工作台由操作杆控制。分别实现 X、Y、Z 方向移动，X、 Y、Z 轴行程≥165mm×165mm×165mm，三轴分辨率不低于 30nm； ★1.1.2 推刀或者钩针在 Z 轴方向上的移动范围：168mm； 1.1.3 ADC 分辨率：≥24bit .X、Y、Z 方向电动移动，各轴光栅精度达到 30nm； 平台的移动速度：X 轴、Y 轴≥5mm/s；推刀或者钩针的移动速度：Z 轴≥5mm/s； 配备两支人体工学操作杆用于控制工作平台的移动，每只配有可程序化按钮。 1.1.4 夹具可手动调节尺寸，夹具应根据招标人样品尺寸定制，并具备通用性； 1.1.5 显微镜系统：立体变焦式显微系统，灯光可调节，显微镜放大倍率 5.6X～ 90X 且连续可调，1.5μm 的光学解析度。 ★1.1.6 传感器测试能力：具备 5 个以上传感器自动旋转切换并且校准的功能 ★1.1.7 传感器精度≤0.2%； 1.1.8 软件功能： SPC 统计功能，以曲线图或表格的形式显示结果，并且结果能够导入进 Excel，可进行数据的自动记录和分析； 1.1.9 有LED 照明，具备 CCD 摄像头同轴拍摄功能（ 显示器要求≤1.5 μm 光学解析度）。 ★1.1.10推刀或者钩针的移动位置精度：优于±1μm

晶圆对准机作为一种精密的设备，它在学科建设与学科交叉融合中扮演着重要的角色。首先，晶圆对准机用于晶圆键合预对准，而晶圆键合机是微电子、微机电系统（MEMS）、纳米技术等领域研究和生产的关键设备，其技术进步可以推动相关学科的发展 。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。