高倍光学显微镜

1、光学系统：UIS2无限远全校正光学系统 2、底座支架：高稳定性低重心设计一体式主机 3、目镜筒：标准半导体显微镜三目镜筒 4、物镜切换：孔电动编码物镜转换器(自动切换物镜自动识别对应倍率) 5、载物台：大尺寸IC观察专用带晶圆旋转盘载物台,XY行程:8X 8inch,含精确移动手柄和快速移动离合装置 6、物镜：5x平场半复消色差全功能明暗场物镜，工作距离：12mm，数值孔径：0.15; 10x平场半复消色差全功能明暗场物镜，工作距离：6.5mm，数值孔径：0.3; 20x平场半复消色差全功能明暗场物镜，工作距离：3mm，数值孔径：0.45; 50x 平场半复消色差全功能明暗场物镜，工作距离：1.0mm，数值孔径：0.80; 100x 平场半复消色差全功能明暗场物镜，工作距离：1.0mm，数值孔径：0.90。 7、观察方式：明场、暗场观察模式 8、相机：原厂数字摄像机;640万有效像素像素,芯片版面尺寸1/1.8;帧率:60fps 9、光源：长寿命高稳定一致性LED光源，寿命60000小时。

观察材料和器件结构形貌

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。