高真空磁控溅射ITO镀膜机
- 规格型号:iTops i233
- 运行状态: 启用
- 仪器类型: iTops i233
- 仪器认证: 已进行计量认证
- 参考收费标准: 按相关收费标准执行
服务信息
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8寸范围内厚度均匀性≤5%、6寸范围内厚度均匀性≤3%、批次间厚度重复性≤3%、 ITO方块电阻≤50Ω/□,透射率≥90%
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专注于ITO(铟锡氧化物)沉积,特别是用于电流扩展层工艺。可实现自动化取放片功能;
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先进制造
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客户提前10天申请,商榷检定日期,检定人员到现场检定,待检定合格后方可使用。
联系方式
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杨旭A
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13599916733
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yangxu@xmu.edu.cn
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