激光诱导蚀刻玻璃成形机（配套冷水机、蚀刻设备）

激光器功率20W，激光脉宽<10ps，最大加工尺寸300*300或者12inch，最小孔径≤8um，可实现最大深径比≥25:1，加工精度≤10um（8寸范围内），X、Y、Z轴定位精度±1um、±1um、±1um，X、Y、Z重复轴定位精度±0.5um、±0.5um、±0.5um。

激光诱导蚀刻玻璃成形机是实现系统玻璃通孔关键工艺设备，通过“激光诱导改质+化学蚀刻”的方式，在玻璃内部形成巨量通孔结构，为后续的金属化工艺实现提供条件，支持石英、硼硅、钠钙、铝硅等多种不同玻璃材质，可根据需求在基板上实现圆孔、方孔、埋孔、通孔以及微槽等多形态工艺。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。