多层线路电子3D打印设备

1) 工作范围：≤8寸 2）加工能力：最小线宽可达1um，支持银浆、铜浆打印，支持县空结构如Wire Bond线路打印，支持无源器件如精密电感、电阻线路打印 3）定位精度：±1um 4) 上料方式：手动上料 5）高度补偿精度：±0.5um 6）视觉对位精度：±5um 7）打印头数量：2个 8）设备尺寸：W1650xD1000xH2200mm 9）设备质量：约1吨

（1）打印功能（2） 产品装载功能能：支持≥8寸晶圆载物台或支持≥200*200mm方形载物台，真空吸盘吸附装夹（3） 光学定位检测功能：支持Mark点识别抓取定位，对位精度可达≤±5um（客户来料 Mark 精度需≤±3um，形状为圆形或十字等常规Mark图案）（4） 软件及控制功能（5）图纸分析功能（6）产品旋转定位功能：支持产品自动旋转对位。（7）高度补偿功能（8）打印头自动清洁功能：自动清洗打印头，减少因沾污降低生产质量等。（9）设备内部净化功能：在设备顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面匀速送出，内部可达百级洁净度（万级无尘车间作业）。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。